| 主要配置 | 数量 | 备注 |
| 入气粉尘过滤系统 | 1套 | 过滤系统中细小的粉尘,过滤精度<0.1um |
| 低压缓冲储气罐 | 1个 | 容积15m3,工作压力1MPa |
| 变频式螺杆压缩机 | 1台 | 油润滑 |
| 氩气干燥系统 | 1组 | 气体的干燥处理 |
| 氩气除氧系统 | 1组 | 净化氩气中的少量氧气 |
| 中压缓冲储气罐 | 1个 | 容积:5m3,工作压力:1.6MPa |
| 液驱活塞式压缩机 | 1台 | 220KW,液压驱动式,无油润滑 |
| 高压缓冲储气罐 | 1个 | 容积:5m3,工作压力:6.5Mpa |
| 水冷机 | 1台 | 用于系统的冷却 |
| 介质 | 氩气 | 净化后氧含量 | ≤5PPM |
| 流量 | ≥1500m³/h | 油含量 | ≤0.01ppm |
| 回收气体初始压力 | 0.010-0.015Mpa | 露点温度 | ≤-65°C |
| 增压后压力 | ≥6MPa | 介质过滤精度 | <0.1um |
| 整体回收率 | ≥99% | 设备总功率 | 470KW |