氩气回收

氩气回收

氩气回收技术是一种通过物理或化学方法,对工业生产中排放的氩气进行高效回收、纯化并循环利用的环保型工艺。这类技术广泛应用于金属增材制造(如3D打印)、光伏拉晶、半导体制造等高耗氩行业,旨在降低企业用气成本并减少碳排放。
应用领域 金属增材制造(3D打印)、光伏行业、半导体与电子工业、传统制造业
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氩气回收 通过吸附、冷凝或膜分离技术从混合气体中分离氩气,去除氧气、水分、油污等杂质(如使用银系催化剂或分子筛),然后采用无油增压机将净化后的氩气加压至工业标准压力(如0.6MPa),并储存于高压气瓶或液氩罐中,并通过管道将高纯氩气输送回生产线,形成闭环系统。
技术优势
设备参数


主要配置 数量 备注
入气粉尘过滤系统 1套 过滤系统中细小的粉尘,过滤精度<0.1um
低压缓冲储气罐 1个 容积15m3,工作压力1MPa
变频式螺杆压缩机 1台 油润滑
氩气干燥系统 1组 气体的干燥处理
氩气除氧系统 1组 净化氩气中的少量氧气
中压缓冲储气罐 1个 容积:5m3,工作压力:1.6MPa
液驱活塞式压缩机 1台 220KW,液压驱动式,无油润滑
高压缓冲储气罐 1个 容积:5m3,工作压力:6.5Mpa
水冷机 1台 用于系统的冷却
介质 氩气 净化后氧含量 ≤5PPM
流量 ≥1500m³/h 油含量 ≤0.01ppm
回收气体初始压力 0.010-0.015Mpa 露点温度 ≤-65°C
增压后压力 ≥6MPa 介质过滤精度 <0.1um
整体回收率 ≥99% 设备总功率 470KW


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